针对客户测量大直径、长尺寸硅晶圆片、晶棒而设计，此仪器为双工作位。

  标准配置如下：GA, GC测角仪。
    1、一侧用于测3--8英寸晶圆片111、100面，还可测晶棒参考面（110）等角度。
    2、另一侧用于测直径5----8英寸，长800mm晶棒（111、100）晶面等角度。

  主要参数：

项 目	参 数
晶棒直径	5---8英寸、最大11寸
晶棒长度	800 mm
样品板面积	43宽×112高mm
定向精度	±30″
数显方式	θ：度；分；秒；最小读数10″
显示器	外置立式
技术指标	符合YX-2参数。
尺 寸	1210×810×1420 mm