用途：将粘接好的晶棒，连同料板一同拿到YX-6F定向仪上，料板底部靠在测角仪的基准面上，打开光闸进行复检测量。YX-6F可对粘接好的晶棒进行X轴的复检测量，测量后的结果可与YX-6D的打印结果进行对照，如有差异，可将晶棒从料板取下，重新粘接，大大保证了切割前晶棒的粘接精度。

技术参数：

X射 线 管	铜靶，阳极接地，强迫风冷
管 电 压	30KVP，全压合闸
管 电 流	0---5mA，连续可调
整 机 功 率	不大于0.3KW
定 向 精 度	±30″
蜗轮运动误差	不大于30″
计数器转角度	-10°------+100°
样品转角度	-10°------+50°
计 数 管	盖革管，电压600-----1100V
时间常 数	分0.1、0.4、3秒三档可调
保 护	高压连锁保护，温度保护
狭 缝	4′、5′、6′
外 型 尺 寸	1200mm×650mm×1100mm
仪 器 重 量	250KG
测样品直径	硅单晶 Φ3---Φ8英寸晶圆片；
测晶棒长度	硅单晶 Φ3—8英寸；500毫米长晶棒