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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
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传真电话:
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YX-2D6系列蓝宝石、硅单晶及其他单晶体定向仪

  YX-2D6A蓝宝石晶体定向仪:是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道.属于通用型。

  标准配置如下:GA, GB测角仪。
  1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度.
 
 2、另一侧GB专为晶棒设计,设计为宽130,长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒 ;如:硅(111)蓝宝石C面等角度;第一个测2---3英寸端面,第二个测4---6英寸端面.

主要参数:

项 目

参 数

晶棒直径

2---6英寸、最大8寸

晶棒长度

400 mm

样品板面积

43宽×70高mm

定向精度

±30″

数显方式

θ:度;分;秒;最小读数10″

显示器

外置立式

技术指标

符合YX-2参数。


  两边测角仪客户也可根据本公司晶体尺寸、形状选配不同型号测角仪,请参考我公司的G系列测角仪(GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH)的型号选购配置。

YX-2D6A 通用型(GA+GB适用晶圆片、晶棒)
   1,一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;如硅(111)蓝宝石C等角度;同时能测晶棒参考面或OF;如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。
   2,另一侧GB专为晶棒设计,配有宽130㎜,长300㎜平托板,配2个可移动尼龙V型晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;同时能测Φ2---Φ6英寸, 长400㎜晶棒端面 ;如硅:(111)蓝宝石C面等其它晶体的角度。第一个测2---3英寸,第二个测4---6英。
YX-2D6B (GA+GC适用晶圆片、大晶棒)
   1,一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;如硅(111)蓝宝石C等角度;同时能测晶棒参考面或OF;如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。
   2, 另一侧GC测角仪能测晶棒端面,测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ2---Φ6英寸,长400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。
YX-2D6C (GA+GD适用晶圆片、晶圆片参考面)
   1, 一侧GA测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片,如硅:(111;100)蓝宝石A,C,R面等其它晶体的角度。
   2, 另一侧GD测角仪能测,晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面。如硅:(110 )蓝宝石A面等其它晶体的角度。
YX-2D6D (GB+GF适用晶棒,籽晶条)
   1, 一侧GB测角仪能测晶圆片;能测Φ4---Φ6英寸, 长400㎜晶棒端面,如硅:(111)蓝宝石,C,R面等其它晶体的角度。
   2, 另一侧GF测角仪配置一个高度可调籽晶测试架,测Φ5—20㎜圆或方型,长150㎜籽晶端面, 如硅:(111)蓝宝石C 面等其它晶体的角度。
YX-2D6E (GD+GK适用晶片参考面,正负6°±15°角)
   1, 一侧GD测角仪能测,晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面,如:硅(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。
   2,另一侧GK测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片,通过改变样品板垫块倾斜角±6°,±8°±15°度位置,来测晶圆片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶体的角度。
YX-2D6F (GE+GD适用晶圆片、园片参考面)
   1,一侧GE测角仪专为测大直径晶圆片而设计,测直径2--8英寸的晶圆片,高400㎜晶棒,如硅:(110)蓝宝石C面等其它晶体的角度,样品板有10×10㎜方格,用于晶圆片2点180°和4点90°的测试。
   2,另一侧GD测角仪能测、晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面,如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。
YX-2D6G (GD+GH适用晶片参考面,正负园片±6°角)
    1,一侧GD测角仪能测,晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面。如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。
    2,另一侧GH测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片,通过旋转90°度,改变样品板倾斜角±6°度位置来测晶圆片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶体的角度。
YX-2D6H (GL+GC适用晶圆片、大晶棒)
  1,一侧GL测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;如硅:(111)蓝宝石C等角度;同时立测能测晶棒参考面或OF,并有垂直参考尺,便于划线加工磨参考面,如硅:(110)面等其它晶体的角度。                                
  2, 另一侧GC测角仪能测晶棒端面,测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ2---Φ6英寸,长400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。

说明:上述型号的配置也可以用在YX-2H8机型框架上。可根据客户的要求设计加工特殊工作台,请来电咨询,我们将热情为您回复。

 
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