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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
0415-2150150
传真电话:
0415-2151390
 
YX-6FX射线晶体复检仪

用途:将粘接好的晶棒,连同料板一同拿到YX-6F定向仪上,料板底部靠在测角仪的基准面上,打开光闸进行复检测量。YX-6F可对粘接好的晶棒进行X轴的复检测量,测量后的结果可与YX-6D的打印结果进行对照,如有差异,可将晶棒从料板取下,重新粘接,大大保证了切割前晶棒的粘接精度。

技术参数:

X射 线 管

铜靶,阳极接地,强迫风冷

管 电 压

30KVP,全压合闸

管 电 流

0---5mA,连续可调

整 机 功 率

不大于0.3KW

定 向 精 度

±30″

蜗轮运动误差

不大于30″

计数器转角度

-10°------+100°

样品转角度

-10°------+50°

计 数 管

盖革管,电压600-----1100V

时间常 数

分0.1、0.4、3秒三档可调

保 护

高压连锁保护,温度保护

狭 缝

4′、5′、6′

外 型 尺 寸

1200mm×650mm×1100mm

仪 器 重 量

250KG

测样品直径

硅单晶 Φ3---Φ8英寸晶圆片;

测晶棒长度

硅单晶 Φ3—8英寸;500毫米长晶棒

 

 
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