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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
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传真电话:
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YX-2H8大晶棒定向仪

  YX-2H8大晶棒定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、砷化镓、蓝宝石等多种晶体设计.主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道。
  标准配置为GA 、GC、测角仪
  1,一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ8英寸晶圆片;如硅(111)蓝宝石C等角度;同时能测晶棒参考面或OF;如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。                                
  2, 另一侧GC测角仪能测晶棒端面,测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ5---Φ8英寸,长500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。

主要参数:

参 数

晶圆片直径

2—8英寸; 最大11英寸

晶棒直径

5—8英寸 ;最大11英寸

晶棒长度

500㎜ ; 最长550㎜

样品板面积

43宽×112高 ㎜

定向精度

±30″

数显方式

θ角:度;分;秒;最小读数10″

数字位置

外置立式

技术指标

符合YX-2参数

 
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