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YX-5Z硅单晶棒粘接台

  用途:YX-5Z硅单晶棒粘接台主要用于晶棒粘接,与我公司生产的YX-5D;YX-6D\6DA晶体定向仪及多线切割机配套使用,该仪器用于晶棒定向计算出X与Y偏角棒的粘接。测角仪采用直读编码器,减少了机械传动误差,提高了测量精度,X与Y角度编码器与数显仪表选用德国进口,操作方便,测量精度高。
  结构:YX-5Z硅单晶棒粘接台能够粘直径3~8英寸,长500㎜晶棒,可在同一块料板上粘接N个晶棒,双轴编码器、分别有X与Y角度数显表,采用国际通常方法,X与Y角以度为单位,最小读数0.001度,X定位转角为±15度,Y晶棒转角±90度,并且有晶棒夹紧固定装置,使之粘接后稳定性好,误差小等优点。
  主要参数:

电 源

220V 50HZ

功 率

0.2KV

晶棒直径

3~8英寸

晶棒长度

500㎜

料板宽度

70、100、150㎜

X定位转角

±15度(直读)

Y晶棒转角

±90度(直读)

角度显示

以度为单位、最小读数0.001度

尺 寸

长850×宽550×高140

重 量

120㎏