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YX-5D\5DA硅单晶棒射线定向仪


  用途:该仪器专门用于硅单晶棒定向测量,与我公司生产的YX-5Z\6Z及多线切割设备配套使用,最大特点是,测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角,X和Y值,并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。
  结构:该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。计算软件采用国际通常算法,以度为单位,显示最小精度0.001度,测量精度±0.008度(±30〃),能够测量直径3~8英寸,长450㎜,测量晶面为111、100等。
  型号:  YX-5D为双测角仪,一边定向计算,一边测片(8英寸)。
          YX-5DA为单测角仪,定向计算。

  主要参数:

电 源

220V 50HZ

功 率

0.5KV

管 电 压

30KVP

管 电 流

0-5mA

晶棒直径

3~8英寸

晶棒长度

400㎜

测量晶向

111、100

定向精度

0.008度(±30″)

角度显示

以度为单位、最小读数0.001度

射线窗口

电磁脚踏光闸

计算角度

α与β(X与Y)

尺 寸

长123×宽330×高1440

重 量

300㎏