YX-5A高精度蓝宝石晶体定向仪：是在YX-2D6A定向仪基础上升级产品，配置单色器,数字显示为6位，最小读数1″，精度±15″针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,操作方便，显示器为外置式,样品台加装承重轨道，属于通用热销机型。
   标准配置如下：GA, GB测角仪
   1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
   2, 另一侧GB专为晶棒设计，设计为宽130，长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托，能测Φ2---Φ6英寸晶圆片；能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒 ；如：硅（111）（100）蓝宝石C面等角度；第一个测2---3英寸端面，第二个测4---6英寸端面。

  主要参数：