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YX-11A晶棒参考面定向仪(OF)


  用 途:
  该设备是加工晶棒参考边(OF面)时定向的专用仪器,是外圆滚磨机床后道工序的配套设备,将外圆滚磨机磨好的晶棒放在该仪器上进行定向;然后到平面磨床上磨参考面;其定向角度是固定式,客户可根据自己的晶体材料选择不同晶体的角度,如;蓝宝石A、R面;硅、砷化稼、锗(110)面等晶体的角度。(订货时晶向角度可自选)
  特点:
  此设备的优点是测量精度高,一台设备的定向、能满足多台平面磨床的使用。标准配置2、4英寸夹具各一套。(订货时夹具尺寸可以选配)
  方 法:
  把滚磨机床磨好的晶棒放到 V型槽专用夹具中,放到工作台上,使定向头慢慢向下移动直至碰到晶棒为止,打开射线光闸测量其晶向,然后慢慢转动晶棒找到参考边方向,反复几次准确的找到角度最大值;然后将夹具锁紧,连同V型槽专用夹具一同放到平面磨机床上,磨出参考边。

  主要技术参数:

X 射线管

铜靶,阳极接地,强迫风冷

管 电 压

30KVP、全压合闸

管 电 流

0-5mA、连续可调

电源输入

单相交流220V 、50HZ、 0.5KW

测量角度

固定式蓝宝石A向18°55′

计 数 管

盖革、电压DC700---1200V

时间常数

0.1、0.4、3秒;3档可调

X窗口控制

电 磁 光 闸

测晶棒重量

20Kg晶棒

测晶棒直径;长度

直径2--4英寸、长50-300 mm

V槽夹具

标准配置、直径2、4、英寸

外形尺寸

长1140×宽650×高1700

仪器重量

150KG