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GA型测角仪：
按测量晶圆片，晶棒设计，样品台带有承重轨道，可测30公斤，直径Φ2--6英寸（可增加到8英寸）的晶圆片与晶棒；在样品台上加有真空吸气装置，能测量晶圆片硅（111）蓝宝石A,C,R等其它晶体的角度，同时可测晶棒的参考面或OF面（110）A等角度。 | |
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GB型测角仪：
专为硅、蓝宝石晶棒设计，设计为宽130mm、长300mm定位平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托，测直径Φ2--Φ6英寸，长400mm晶棒的端面，如：硅（111）蓝宝石C面等其它晶体的角度；第一个测2---3英寸端面，第二个测4---6英寸端面。 | |
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GC型测角仪：
按测晶棒设计，样品台带有承重轨道，有滚杠型支撑架。可测30公斤，直径Φ2--Φ8英寸，长度为400--500mm的晶棒的端面。在样品台上加有真空吸气装置，可通过改变滚杠宽度，达到测Φ2--Φ6英寸目的，转动晶棒用以测量端面如：硅（111）蓝宝石C面等其它角度的晶体。 | |
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GD型测角仪：
该型号测角仪专为晶圆片参考面的测量而设计，测切完片后的晶圆片的参考面OF面（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度，样品台设有吸气装置，测量直径Φ2--Φ8英寸，厚度0.5mm以上的晶圆片OF面。 | |
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GE型测角仪：
该型号测角仪专为大直径晶圆片而设计的，可测直径Φ2--Φ8英寸的晶圆片，如：硅（111）蓝宝石C面等其它晶体的角度，晶片样品板有10×10㎜方格，用于晶圆片上下2点180°和4点90°的测试。 | |
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GF型测角仪：
该型号测角仪样品台，专为钻床加工好的籽晶条的测量设计，能测Φ5---Φ20mm圆籽晶，方型5--20mm，长度150mm的籽晶条，测量晶面如：硅（111，100）等其它晶体的角度。 | |
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GK型测角仪：
该型号测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片，通过改变样品板垫块倾斜角±6°，±8°±15°度位置，来测晶圆片角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶体的角度。 | |
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GH型测角仪：
该型号测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片，通过旋转90°度，改变样品板倾斜角±6°度位置来测晶圆片的角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶体的角度。 | |
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GL型测角仪：
该型号测角仪能测直径Φ2---Φ6英寸晶圆片；如硅（111）蓝宝石C等角度；同时立测能测晶棒参考面或OF，并有垂直参考尺，便于划线加工参考面，如硅：110面等其它晶体的角度。 | |
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