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YX-7M长晶棒定向仪
针对客户测量大直径、长尺寸硅晶圆片、晶棒而设计，此仪器为双工作位。
标准配置如下：GA, GC测角仪。
1、一侧用于测3--8英寸晶圆片111、100面，还可测晶棒参考面（110）等角度。
2、另一侧用于测直径5----8英寸，长800mm晶棒（111、100）晶面等角度。
主要参数：
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项 目 |
参 数 |
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晶棒直径 |
5---8英寸、最大11寸 |
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晶棒长度 |
800 mm |
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样品板面积 |
43宽×112高mm |
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定向精度 |
±30″ |
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数显方式 |
θ：度；分；秒；最小读数10″ |
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显示器 |
外置立式 |
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技术指标 |
符合YX-2参数。 |
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尺 寸 |
1210×810×1420 mm |